自動化測試系統(tǒng)：該系統(tǒng)把探針臺，矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，電源，信號源等整合在一起，實(shí)現(xiàn)了對晶圓的自動化測試，根據(jù)map圖對芯片

                             依次進(jìn)行測試。系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了探針臺自動扎針抬針以及自動尋找待測目標(biāo)，控制電源自動上下電，控制矢量網(wǎng)絡(luò)分析

                             儀自動獲取測試數(shù)據(jù)以及保存測試數(shù)據(jù)等功能，系統(tǒng)根據(jù)芯片的指標(biāo)對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行篩選，繪制出芯片性能是否合

                             格的map文件。

自動化分揀系統(tǒng)：該系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了對晶圓的自動化分揀，系統(tǒng)根據(jù)自動化測試系統(tǒng)導(dǎo)出的map文件，把性能合格的芯片進(jìn)行自動分揀，

                             提高了分揀效率。

自動化目檢系統(tǒng)：該系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了對芯片的自動化目檢，系統(tǒng)通過圖像比對功能對芯片依次進(jìn)行外觀檢查，篩出外觀不合格的芯片，最

                             終繪制出芯片外觀是否合格的map文件。